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ギガフォトン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第471位 83件 上昇2016年:第1441位 17件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第664位 36件 下降2016年:第658位 38件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6232210 ミラー装置、極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システム 2017年11月15日
特許 6232462 アライメントシステム 2017年11月15日
特許 6220879 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システム 2017年10月25日
特許 6215334 レーザ装置及び極端紫外光生成システム 2017年10月18日
特許 6210526 波長検出器、波長較正システム 2017年10月11日
特許 6208483 予備電離放電装置及びレーザ装置 2017年10月 4日
特許 6204363 レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 2017年 9月27日
特許 6195474 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 2017年 9月13日
特許 6189041 チャンバ及び極端紫外光生成装置 2017年 8月30日
特許 6168760 レーザビーム制御装置及び極端紫外光生成装置 2017年 7月26日
特許 6168797 極端紫外光生成装置 2017年 7月26日
特許 6170928 スラブ型増幅器、それを含むレーザ装置および極短紫外光生成装置 2017年 7月26日
特許 6165142 レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 2017年 7月19日
特許 6166551 ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 2017年 7月19日
特許 6152549 レーザ装置、および、レーザ装置の製造方法 2017年 6月28日

36 件中 1-15 件を表示

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6232210 6232462 6220879 6215334 6210526 6208483 6204363 6195474 6189041 6168760 6168797 6170928 6165142 6166551 6152549

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