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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2012-256608	ターゲット物質供給装置	2012年12月27日
特開 2012-253383	レーザ装置管理システム	2012年12月20日
特開 2012-227167	極端紫外光源装置用ドライバーレーザ及びＬＰＰ型極端紫外光源装置	2012年11月15日
再表 2010-137625	ターゲット出力装置及び極端紫外光源装置	2012年11月15日
特開 2012-216769	レーザシステム、レーザ光生成方法、および極端紫外光生成システム	2012年11月 8日
特開 2012-216486	ドロップレット生成及び検出装置、並びにドロップレット制御装置	2012年11月 8日
特開 2012-216768	レーザシステム、極端紫外光生成システム、およびレーザ光生成方法	2012年11月 8日
特開 2012-216743	スペクトル純度フィルタ及びそれを備える極端紫外光生成装置	2012年11月 8日
特開 2012-216854	極端紫外光を用いる半導体露光装置	2012年11月 8日
特開 2012-212641	極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成方法	2012年11月 1日
特開 2012-212904	極端紫外光用ミラー、極端紫外光用ミラーの製造方法及び極端紫外光源装置	2012年11月 1日
特開 2012-212655	ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置	2012年11月 1日
特開 2012-212654	極端紫外光生成装置	2012年11月 1日
特開 2012-204819	レーザシステムおよびレーザ生成方法	2012年10月22日
特開 2012-204820	レーザシステムおよびレーザ生成方法	2012年10月22日

34 件中 1-15 件を表示

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2012-256608 2012-253383 2012-227167 2010-137625 2012-216769 2012-216486 2012-216768 2012-216743 2012-216854 2012-212641 2012-212904 2012-212655 2012-212654 2012-204819 2012-204820

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