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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第520位 74件
(2012年:第867位 34件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第699位 46件
(2012年:第1187位 23件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-251381 | EUV光生成装置の洗浄方法 | 2013年12月12日 | |
特開 2013-251100 | 極紫外光生成装置及び極紫外光生成方法 | 2013年12月12日 | |
特開 2013-247240 | レーザ装置 | 2013年12月 9日 | |
特開 2013-239723 | レーザシステム | 2013年11月28日 | |
特開 2013-229562 | レーザ装置、および、レーザ装置の製造方法 | 2013年11月 7日 | |
特開 2013-229553 | レーザ装置及び極端紫外光生成装置 | 2013年11月 7日 | |
特開 2013-222173 | レーザ装置 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-218286 | ファラデーローテータ、光アイソレータ、レーザ装置、および極端紫外光生成装置 | 2013年10月24日 | |
特開 2013-214708 | レーザ装置、レーザシステムおよび極端紫外光生成装置 | 2013年10月17日 | |
特開 2013-214707 | 透過型光学素子、レーザチャンバ、増幅段レーザ、発振段レーザ、およびレーザ装置 | 2013年10月17日 | |
特開 2013-211517 | EUV光集光装置 | 2013年10月10日 | |
特開 2013-207004 | レーザ装置 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-207298 | レーザ装置、レーザシステムおよび極端紫外光生成装置 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-207003 | レーザ装置 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-201118 | ターゲット物質精製装置、および、ターゲット供給装置 | 2013年10月 3日 |
74 件中 1-15 件を表示
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2013-251381 2013-251100 2013-247240 2013-239723 2013-229562 2013-229553 2013-222173 2013-218286 2013-214708 2013-214707 2013-211517 2013-207004 2013-207298 2013-207003 2013-201118
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