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ギガフォトン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第1852位 12件 下降2010年:第1636位 16件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第2071位 10件 上昇2010年:第5419位 2件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-244012 光源装置及びそれを用いた露光装置 2011年12月 1日
特開 2011-238976 ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 2011年11月24日
特開 2011-228256 極端紫外光生成装置、レーザシステムおよび方法 2011年11月10日
特開 2011-222944 レーザ装置 2011年11月 4日
特開 2011-211234 紫外線ガスレーザ装置 2011年10月20日 共同出願
特開 2011-192849 レーザ装置 2011年 9月29日
再表 2009-125745 ガス放電チャンバ 2011年 8月 4日
特開 2011-135028 極端紫外光源装置 2011年 7月 7日
特開 2011-29587 極端紫外光源システム 2011年 2月10日
特開 2011-23712 極端紫外光源装置 2011年 2月 3日 共同出願
特開 2011-9183 極端紫外光源装置 2011年 1月13日
特開 2011-3887 チャンバ装置におけるターゲット軌道を計測及び制御する装置及び方法 2011年 1月 6日

12 件中 1-12 件を表示

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2011-244012 2011-238976 2011-228256 2011-222944 2011-211234 2011-192849 2009-125745 2011-135028 2011-29587 2011-23712 2011-9183 2011-3887

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