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エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ．
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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第2711位 7件
（
2023年：第1639位 14件）
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第2210位 8件
（2023年：第2186位 8件）
（ランキング更新日：2025年3月28日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ．の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7590523 | リソグラフィ装置の一部を洗浄するためのシステム | 2024年11月26日 | |
| 特許 7542654 | 自己参照集積アライメントセンサ | 2024年 8月30日 | |
| 特許 7531650 | ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 | 2024年 8月 9日 | |
| 特許 7511592 | オンチップウェーハアライメントセンサ | 2024年 7月 5日 | |
| 特許 7509969 | マスクアセンブリ | 2024年 7月 2日 | |
| 特許 7496878 | アライメントマークを感知するための装置 | 2024年 6月 7日 | |
| 特許 7496367 | リソグラフィ装置、計測装置、光学システムおよび方法 | 2024年 6月 6日 | |
| 特許 7490817 | アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成 | 2024年 5月27日 | |
| 特許 7483893 | 汚染検出計測システム、リソグラフィ装置、それらの方法 | 2024年 5月15日 | |
| 特許 7477652 | リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法 | 2024年 5月 1日 | |
| 特許 7455844 | ダイレクトドライブのレチクル安全ラッチ | 2024年 3月26日 | |
| 特許 7430233 | リソグラフィ装置で使用するための基板ホルダ | 2024年 2月 9日 | |
| 特許 7420726 | リソグラフィ装置におけるインシチュ粒子除去のための装置及び方法 | 2024年 1月23日 |
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7590523 7542654 7531650 7511592 7509969 7496878 7496367 7490817 7483893 7477652 7455844 7430233 7420726
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