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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2024年 特許取得件数ランキング    第2210位 8件 下降2023年:第2186位 8件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7590523 リソグラフィ装置の一部を洗浄するためのシステム 2024年11月26日
特許 7542654 自己参照集積アライメントセンサ 2024年 8月30日
特許 7531650 ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 2024年 8月 9日
特許 7511592 オンチップウェーハアライメントセンサ 2024年 7月 5日
特許 7509969 マスクアセンブリ 2024年 7月 2日
特許 7496878 アライメントマークを感知するための装置 2024年 6月 7日
特許 7496367 リソグラフィ装置、計測装置、光学システムおよび方法 2024年 6月 6日
特許 7490817 アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成 2024年 5月27日
特許 7483893 汚染検出計測システム、リソグラフィ装置、それらの方法 2024年 5月15日
特許 7477652 リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法 2024年 5月 1日
特許 7455844 ダイレクトドライブのレチクル安全ラッチ 2024年 3月26日
特許 7430233 リソグラフィ装置で使用するための基板ホルダ 2024年 2月 9日
特許 7420726 リソグラフィ装置におけるインシチュ粒子除去のための装置及び方法 2024年 1月23日

13 件中 1-13 件を表示

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7590523 7542654 7531650 7511592 7509969 7496878 7496367 7490817 7483893 7477652 7455844 7430233 7420726

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