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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第1474位 16件 上昇2021年:第3677位 5件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第2222位 8件 下降2021年:第2016位 8件)

(ランキング更新日:2025年2月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7167158 定められたバールトップトポグラフィを有するリソグラフィサポート 2022年11月 8日
特許 7167333 リソグラフィ装置内部のサポートをクリーニングするための装置及び方法 2022年11月 8日
特許 7164605 リソグラフィ装置で使用するための基板ホルダ 2022年11月 1日
特許 7143526 並列アライメントマークを同時に獲得するための装置及びその方法 2022年 9月28日
特許 7124205 コンパクトなアライメントセンサ配置 2022年 8月23日
特許 7098722 リソグラフィアプリケーション内でオブジェクトを保持するための改変された表面トポグラフィを伴うバール 2022年 7月11日
特許 7097872 ステージ装置 2022年 7月 8日
特許 7096883 検査装置および測定方法 2022年 7月 6日
特許 7093893 レベルセンサ及びレベルセンサを組み込んだリソグラフィ装置 2022年 6月30日
特許 7061666 半導体フォトリソグラフィで使用するためのアセンブリ及び同一のものを製造する方法 2022年 4月28日
特許 7060695 スキャン信号の特徴診断 2022年 4月26日
特許 7037606 マスクアセンブリ 2022年 3月16日
特許 7022220 非線形光学系を有する検査装置 2022年 2月17日

13 件中 1-13 件を表示

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7167158 7167333 7164605 7143526 7124205 7098722 7097872 7096883 7093893 7061666 7060695 7037606 7022220

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