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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1474位 16件
(2021年:第3677位 5件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2222位 8件
(2021年:第2016位 8件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7167158 | 定められたバールトップトポグラフィを有するリソグラフィサポート | 2022年11月 8日 | |
特許 7167333 | リソグラフィ装置内部のサポートをクリーニングするための装置及び方法 | 2022年11月 8日 | |
特許 7164605 | リソグラフィ装置で使用するための基板ホルダ | 2022年11月 1日 | |
特許 7143526 | 並列アライメントマークを同時に獲得するための装置及びその方法 | 2022年 9月28日 | |
特許 7124205 | コンパクトなアライメントセンサ配置 | 2022年 8月23日 | |
特許 7098722 | リソグラフィアプリケーション内でオブジェクトを保持するための改変された表面トポグラフィを伴うバール | 2022年 7月11日 | |
特許 7097872 | ステージ装置 | 2022年 7月 8日 | |
特許 7096883 | 検査装置および測定方法 | 2022年 7月 6日 | |
特許 7093893 | レベルセンサ及びレベルセンサを組み込んだリソグラフィ装置 | 2022年 6月30日 | |
特許 7061666 | 半導体フォトリソグラフィで使用するためのアセンブリ及び同一のものを製造する方法 | 2022年 4月28日 | |
特許 7060695 | スキャン信号の特徴診断 | 2022年 4月26日 | |
特許 7037606 | マスクアセンブリ | 2022年 3月16日 | |
特許 7022220 | 非線形光学系を有する検査装置 | 2022年 2月17日 |
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7167158 7167333 7164605 7143526 7124205 7098722 7097872 7096883 7093893 7061666 7060695 7037606 7022220
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