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エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ．
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（
2022年：第2222位 8件）
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エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ．の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7377355 | 較正システム及び較正方法 | 2023年11月 9日 | |
| 特許 7369753 | リソグラフィ装置のオブジェクトを保持するためのチャック及びクランプ、並びにリソグラフィ装置のクランプによって保持されるオブジェクトの温度を制御する方法 | 2023年10月26日 | |
| 特許 7367194 | アライメントソースとしてのレーザモジュール、メトロロジシステム、及びリソグラフィ装置 | 2023年10月23日 | |
| 特許 7362934 | スキャトロメータベースの粒子検査システムの改善されたアライメント | 2023年10月17日 | |
| 特許 7361787 | リソグラフィ測定のためのセンサ装置及び方法 | 2023年10月16日 | |
| 特許 7357151 | リソグラフィ装置の一部を洗浄するためのシステム | 2023年10月 5日 | |
| 特許 7329047 | 衝撃荷重を分配するための複数パッド型レチクルバンパー | 2023年 8月17日 | |
| 特許 7318040 | マスクアセンブリ | 2023年 7月31日 | |
| 特許 7263431 | ペリクル及びペリクルアセンブリ | 2023年 4月24日 | |
| 特許 7258878 | ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 | 2023年 4月17日 | |
| 特許 7248649 | 粒子トラップおよび粒子抑制用バリア | 2023年 3月29日 | |
| 特許 7203974 | アライメント信号のためのノイズ補正 | 2023年 1月13日 |
12 件中 1-12 件を表示
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7377355 7369753 7367194 7362934 7361787 7357151 7329047 7318040 7263431 7258878 7248649 7203974
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