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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．

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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．の商標一覧
公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7771333 リソグラフィ装置及び照度均一性補正システム 2025年11月17日
特許 7731915 物体ホルダ、静電シートおよび静電シートを製造する方法 2025年 9月 1日
特許 7717792 リソグラフィ装置、計測システム及び誤差補正のための強度不均衡測定 2025年 8月 4日
特許 7712269 リソグラフィ装置および静電クランプの設計 2025年 7月23日
特許 7707280 粒子検査システムのスループットを改善するためのダブルスキャン・オプトメカニカル構成 2025年 7月14日
特許 7689497 リソグラフィ装置、基板テーブル、及び方法 2025年 6月 6日
特許 7689539 内蔵同軸照明を備えたリソグラフィプリアライメント結像センサ 2025年 6月 6日
特許 7664459 アライメントマークを感知するための装置 2025年 4月17日
特許 7654141 アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成 2025年 3月31日
特許 7624471 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2025年 1月30日
特許 7621977 分割両面ウェーハ及びレチクルクランプ 2025年 1月27日
特許 7620004 リソグラフィ装置および紫外放射制御システム 2025年 1月22日
特許 7615150 両面静電クランプを製造するためのシステムおよび方法 2025年 1月16日
特許 7614211 粒子状デブリの軌道を変更するための偏向装置を備えるリソグラフィシステム 2025年 1月15日
特許 7609877 ウェハクランプの硬いバールの製造および改修 2025年 1月 7日

15 件中 1-15 件を表示

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7771333 7731915 7717792 7712269 7707280 7689497 7689539 7664459 7654141 7624471 7621977 7620004 7615150 7614211 7609877

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