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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6788125 | レチクルクランプデバイス | 2020年11月18日 | |
特許 6774507 | 基板ホルダ及び基板ホルダを製造する方法 | 2020年10月28日 | |
特許 6769954 | マスクアセンブリ | 2020年10月14日 | |
特許 6763966 | 欠陥検出のための画像処理畳み込みアルゴリズム | 2020年 9月30日 | |
特許 6759358 | テーパ光ファイバを使用したスーパーコンティニューム生成による広域スペクトル放射 | 2020年 9月23日 | |
特許 6754002 | アライメントシステムの断熱化 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6742413 | 検査システムの焦点合わせ方法及び装置 | 2020年 8月19日 | |
特許 6744437 | オーバーレイおよびクリティカルディメンションセンサにおける瞳照明のための方法およびデバイス | 2020年 8月19日 | |
特許 6744984 | 波面の可変コレクタ | 2020年 8月19日 | |
特許 6737879 | センサを備えた装置、及びターゲット測定を実行する方法 | 2020年 8月12日 | |
特許 6694518 | パターニングデバイス冷却装置 | 2020年 5月13日 | |
特許 6677746 | 光ファイバ接続のための方法および装置 | 2020年 4月 8日 | |
特許 6678253 | アライメントシステムウェーハスタックビーム分析器 | 2020年 4月 8日 | |
特許 6655601 | 放射をスペクトル的に拡大するための方法及び装置 | 2020年 2月26日 | |
特許 6644919 | アライメント方法 | 2020年 2月12日 |
15 件中 1-15 件を表示
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6788125 6774507 6769954 6763966 6759358 6754002 6742413 6744437 6744984 6737879 6694518 6677746 6678253 6655601 6644919
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