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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2020年 特許取得件数ランキング    第1660位 10件 下降2019年:第1540位 11件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6788125 レチクルクランプデバイス 2020年11月18日
特許 6774507 基板ホルダ及び基板ホルダを製造する方法 2020年10月28日
特許 6769954 マスクアセンブリ 2020年10月14日
特許 6763966 欠陥検出のための画像処理畳み込みアルゴリズム 2020年 9月30日
特許 6759358 テーパ光ファイバを使用したスーパーコンティニューム生成による広域スペクトル放射 2020年 9月23日
特許 6754002 アライメントシステムの断熱化 2020年 9月 9日
特許 6742413 検査システムの焦点合わせ方法及び装置 2020年 8月19日
特許 6744437 オーバーレイおよびクリティカルディメンションセンサにおける瞳照明のための方法およびデバイス 2020年 8月19日
特許 6744984 波面の可変コレクタ 2020年 8月19日
特許 6737879 センサを備えた装置、及びターゲット測定を実行する方法 2020年 8月12日
特許 6694518 パターニングデバイス冷却装置 2020年 5月13日
特許 6677746 光ファイバ接続のための方法および装置 2020年 4月 8日
特許 6678253 アライメントシステムウェーハスタックビーム分析器 2020年 4月 8日
特許 6655601 放射をスペクトル的に拡大するための方法及び装置 2020年 2月26日
特許 6644919 アライメント方法 2020年 2月12日

15 件中 1-15 件を表示

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6788125 6774507 6769954 6763966 6759358 6754002 6742413 6744437 6744984 6737879 6694518 6677746 6678253 6655601 6644919

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