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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．

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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6050953	リニアモータおよびリニアモータを含むリソグラフィ構成	2016年12月21日
特許 6043877	パターニングデバイス支持体及びリソグラフィ装置	2016年12月14日
特許 6034972	レチクル加熱を均一に保つレチクルヒータ	2016年11月30日
特許 6025976	リソグラフィ装置	2016年11月16日
特許 6017630	リソグラフィ装置のレチクル冷却システム	2016年11月 2日
特許 6009081	リアルタイムレチクル曲率検出	2016年10月19日
特許 6009614	時間差レチクル検査	2016年10月19日
特許 6006919	メトロロジ用の反射屈折照明システム	2016年10月12日
特許 6002851	マーク位置測定装置及び方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法	2016年10月 5日
特許 5990613	リソグラフィ装置における加熱システムおよび冷却システム	2016年 9月14日
特許 5989897	パターニングデバイスの表面からの位置及び曲率情報の直接的な判定	2016年 9月 7日
特許 5973724	真空環境用のリニアモータシステムおよびその設計方法	2016年 8月23日
特許 5960154	静電クランプ、リソグラフィ装置、および静電クランプの製造方法	2016年 8月 2日
特許 5952926	リソグラフィ装置およびデバイス製造方法	2016年 7月13日
特許 5945269	結合ポリマフィルム磨耗面を有する空気軸受およびその製造方法	2016年 7月 5日

18 件中 1-15 件を表示

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6050953 6043877 6034972 6025976 6017630 6009081 6009614 6006919 6002851 5990613 5989897 5973724 5960154 5952926 5945269

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