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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2021年 特許取得件数ランキング    第2016位 8件 下降2020年:第1660位 10件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6917472 メトロロジセンサ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造するための方法 2021年 8月11日
特許 6918926 装置マークのインシチュプリンティングを含む計測方法及び対応する装置 2021年 8月11日
特許 6903133 複数イメージ粒子検出のシステム及び方法 2021年 7月14日
特許 6876151 基板及び基板を使用する方法 2021年 5月26日
特許 6873271 アライメントシステムにおける2次元アライメントのためのアライメントマーク 2021年 5月19日
特許 6871251 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2021年 5月12日
特許 6854327 リソグラフィ装置 2021年 4月 7日
特許 6845305 位置決めシステムおよびリソグラフィ装置 2021年 3月17日
特許 6837159 反射防止コーティング 2021年 3月 3日
特許 6812464 インライン補正のための適応フィルタ 2021年 1月13日
特許 6812536 検査システムにおける合焦のための方法及びデバイス 2021年 1月13日
特許 6806841 基板支持体、基板支持ロケーションに基板を搭載するための方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2021年 1月 6日
特許 6808041 メトロロジツール及びメトロロジツールを使用する方法 2021年 1月 6日

13 件中 1-13 件を表示

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6917472 6918926 6903133 6876151 6873271 6871251 6854327 6845305 6837159 6812464 6812536 6806841 6808041

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