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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第3759位 5件
(
2016年:第7297位 2件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第5450位 2件
(
2016年:第1645位 12件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6198837 | パターニングデバイス操作システム及びリソグラフィ装置 | 2017年 9月20日 | |
| 特許 6132499 | 検査装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 | 2017年 5月24日 | |
| 特許 6095786 | 位置測定装置、位置測定方法、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2017年 3月15日 | |
| 特許 6088663 | レチクルステージ環境におけるガス流れ最適化 | 2017年 3月 1日 | |
| 特許 6069509 | 定量的レチクル歪み測定システム | 2017年 2月 1日 |
5 件中 1-5 件を表示
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6198837 6132499 6095786 6088663 6069509
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