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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

(ランキング更新日:2025年6月6日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-87762 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 2019年 6月 6日
特開 2019-81215 基板処理装置 2019年 5月30日
特開 2019-81241 研磨パッドの研磨面の温度を調整するための熱交換器、該熱交換器を備えた研磨装置、該熱交換器を用いた基板の研磨方法、および研磨パッドの研磨面の温度を調整するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年 5月30日
特開 2019-81243 研磨装置、及び研磨方法 2019年 5月30日
特開 2019-81932 めっき装置及びめっき方法 2019年 5月30日
特開 2019-82158 ポンプ装置およびフィルター構造体 2019年 5月30日
特開 2019-83224 基板保持装置並びに基板保持装置を備えた基板処理装置および基板処理方法 2019年 5月30日
特開 2019-77003 研磨装置 2019年 5月23日
特開 2019-77028 弾性膜のストレッチ動作プログラム、弾性膜のストレッチ動作方法、および研磨装置 2019年 5月23日
特開 2019-78105 給水装置 2019年 5月23日
特開 2019-78187 ポンプ、ポンプ装置、及びポンプ装置の分解方法 2019年 5月23日
特開 2019-78206 地下排水ポンプ設備 2019年 5月23日
特開 2019-78222 立軸ポンプ 2019年 5月23日
特開 2019-79688 フロートスイッチ及びポンプ装置 2019年 5月23日
特開 2019-79923 研磨方法および研磨装置 2019年 5月23日

326 件中 196-210 件を表示

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2019-87762 2019-81215 2019-81241 2019-81243 2019-81932 2019-82158 2019-83224 2019-77003 2019-77028 2019-78105 2019-78187 2019-78206 2019-78222 2019-79688 2019-79923

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