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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-194748 研磨装置及びプログラム 2021年12月27日
特開 2021-195887 キャビテーション抑制装置および渦巻ポンプ 2021年12月27日
特開 2021-195896 羽根車およびターボ形ポンプ 2021年12月27日
特開 2021-197846 冷却ファン、電動機、電動機組立体、給水装置、およびインバータの交換方法 2021年12月27日
特開 2021-191902 基板ホルダ及びめっき装置 2021年12月16日
特開 2021-186705 金属担持不織布及びその製造方法、触媒、不飽和化合物の水素化方法、並びに炭素−窒素結合の形成方法 2021年12月13日
特開 2021-186905 研磨装置、処理システム、および研磨方法 2021年12月13日
特開 2021-188236 金属担持不織布及びその製造方法、触媒、不飽和化合物の水素化方法、並びに炭素−窒素結合の形成方法 2021年12月13日
特開 2021-188527 ポンプ装置 2021年12月13日
特開 2021-188614 ポンプケーシングおよびポンプ装置 2021年12月13日
特開 2021-190643 洗浄部材取付機構及び基板洗浄装置 2021年12月13日
特開 2021-185007 消耗部品造形装置、基板研磨装置及び消耗部品造形方法 2021年12月 9日
特開 2021-185602 基板洗浄装置および基板洗浄方法 2021年12月 9日
特開 2021-185628 超音波洗浄装置および洗浄具のクリーニング装置 2021年12月 9日
特開 2021-184463 洗浄部材の清浄度を判定する方法、洗浄部材を汚染する汚染物質の吸着特性を判定する方法、基板の清浄度を判定する方法、基板の清浄度を判定するプログラム、および洗浄工程の終点を判定するプログラム 2021年12月 2日

287 件中 1-15 件を表示

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2021-194748 2021-195887 2021-195896 2021-197846 2021-191902 2021-186705 2021-186905 2021-188236 2021-188527 2021-188614 2021-190643 2021-185007 2021-185602 2021-185628 2021-184463

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