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株式会社荏原製作所

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  2012年 出願公開件数ランキング    第427位 92件 下降2011年:第387位 99件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第286位 128件 上昇2011年:第295位 117件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-256800 洗浄性能予測方法及び基板洗浄方法 2012年12月27日
特開 2012-254490 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 2012年12月27日
特開 2012-251470 真空ポンプ 2012年12月20日
特開 2012-253130 基板搬送方法および基板搬送機 2012年12月20日
特開 2012-253007 検査装置 2012年12月20日
特開 2012-251471 真空ポンプ 2012年12月20日
特開 2012-250309 研磨装置に使用される研磨パッドの研磨面を監視する方法および装置 2012年12月20日
特開 2012-246865 ポンプ設備 2012年12月13日
特開 2012-248564 基板洗浄方法及びロール洗浄部材 2012年12月13日
特開 2012-241855 逆止弁 2012年12月10日
特開 2012-232291 海水淡水化システムおよびエネルギー交換チャンバー 2012年11月29日
特開 2012-232366 研磨方法 2012年11月29日
特開 2012-229699 給水装置の始動方法および給水装置 2012年11月22日
特開 2012-231191 研磨装置および研磨方法 2012年11月22日
特開 2012-224944 電気めっき方法 2012年11月15日

92 件中 1-15 件を表示

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2012-256800 2012-254490 2012-251470 2012-253130 2012-253007 2012-251471 2012-250309 2012-246865 2012-248564 2012-241855 2012-232291 2012-232366 2012-229699 2012-231191 2012-224944

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