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株式会社荏原製作所

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  2020年 出願公開件数ランキング    第163位 266件 下降2019年:第145位 326件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第151位 191件 上昇2019年:第168位 167件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-203375 研磨方法および研磨装置 2020年12月24日
特開 2020-204061 めっき方法、めっき装置、プログラムを記憶する不揮発性の記憶媒体 2020年12月24日
特開 2020-204062 めっき方法、プログラムを記憶する不揮発性の記憶媒体 2020年12月24日
特開 2020-204281 ポンプ用舌片部材、ポンプ装置及び舌部の補修方法 2020年12月24日
特開 2020-205338 半導体製造装置システムを制御するための制御システム、および半導体製造装置システムの制御方法 2020年12月24日
特開 2020-199600 研磨液の供給装置、供給方法、および基板の研磨方法 2020年12月17日
特開 2020-199617 研磨ヘッド、当該研磨ヘッドを備える研磨装置、および当該研磨装置を用いた研磨方法 2020年12月17日
特開 2020-199623 基板研磨装置、基板リリース方法および定量気体供給装置 2020年12月17日
特開 2020-200502 アノードホルダ、及びめっき装置 2020年12月17日
特開 2020-200526 めっき装置 2020年12月17日
特開 2020-200791 情報処理システム、情報処理方法及びプログラム 2020年12月17日
特開 2020-200796 立軸ポンプ 2020年12月17日
特開 2020-200797 制御部、ポンプ装置、及びポンプ運転方法 2020年12月17日
特開 2020-202300 洗浄部材の着脱用治具 2020年12月17日
特開 2020-195967 ガス溶解液供給装置およびガス溶解液供給方法 2020年12月10日

267 件中 1-15 件を表示

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2020-203375 2020-204061 2020-204062 2020-204281 2020-205338 2020-199600 2020-199617 2020-199623 2020-200502 2020-200526 2020-200791 2020-200796 2020-200797 2020-202300 2020-195967

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