株式会社荏原製作所
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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第163位 266件
（
2019年：第145位 326件）
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第151位 191件
（
2019年：第168位 167件）
（ランキング更新日：2021年7月29日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2020-203375 | 研磨方法および研磨装置 | 2020年12月24日 | |
| 特開 2020-204061 | めっき方法、めっき装置、プログラムを記憶する不揮発性の記憶媒体 | 2020年12月24日 | |
| 特開 2020-204062 | めっき方法、プログラムを記憶する不揮発性の記憶媒体 | 2020年12月24日 | |
| 特開 2020-204281 | ポンプ用舌片部材、ポンプ装置及び舌部の補修方法 | 2020年12月24日 | |
| 特開 2020-205338 | 半導体製造装置システムを制御するための制御システム、および半導体製造装置システムの制御方法 | 2020年12月24日 | |
| 特開 2020-199600 | 研磨液の供給装置、供給方法、および基板の研磨方法 | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-199617 | 研磨ヘッド、当該研磨ヘッドを備える研磨装置、および当該研磨装置を用いた研磨方法 | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-199623 | 基板研磨装置、基板リリース方法および定量気体供給装置 | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-200502 | アノードホルダ、及びめっき装置 | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-200526 | めっき装置 | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-200791 | 情報処理システム、情報処理方法及びプログラム | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-200796 | 立軸ポンプ | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-200797 | 制御部、ポンプ装置、及びポンプ運転方法 | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-202300 | 洗浄部材の着脱用治具 | 2020年12月17日 | |
| 特開 2020-195967 | ガス溶解液供給装置およびガス溶解液供給方法 | 2020年12月10日 |
267 件中 1-15 件を表示
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2020-203375 2020-204061 2020-204062 2020-204281 2020-205338 2020-199600 2020-199617 2020-199623 2020-200502 2020-200526 2020-200791 2020-200796 2020-200797 2020-202300 2020-195967
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