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株式会社荏原製作所

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  2022年 出願公開件数ランキング    第160位 226件 下降2021年:第150位 281件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第116位 299件 下降2021年:第114位 242件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2022-191540 基板支持機構、基板洗浄装置及び基板処理方法 2022年12月28日
特開 2022-190806 水中ポンプの連結機構 2022年12月27日
特開 2022-190829 基板処理装置及び情報処理システム 2022年12月27日
特開 2022-190831 基板洗浄装置、基板処理装置、ブレークイン装置、基板に付着する微粒子数の推定方法、基板洗浄部材の汚染度合い判定方法およびブレークイン処理の判定方法 2022年12月27日
特開 2022-189239 ポンプユニット 2022年12月22日
特開 2022-189252 ポンプユニットおよびその製造方法ならびに排水システムの製造方法 2022年12月22日
特開 2022-189307 冷却ファン、電動機組立体 2022年12月22日
特開 2022-188558 基板処理システム、及び基板処理方法 2022年12月21日
特開 2022-187075 グリス供給方法及びグリス供給システム 2022年12月19日
特開 2022-187176 ポンプケーシング 2022年12月19日
特開 2022-187178 吐出合流部、ポンプケーシング、およびポンプ装置 2022年12月19日
特開 2022-187179 ポンプケーシング 2022年12月19日
特開 2022-185724 ポンプユニット、ポンプ設備およびその製造方法、ならびに、排水システムおよびその製造方法 2022年12月15日
特開 2022-185727 供給液体製造装置 2022年12月15日
特開 2022-185887 振動センサ検査システム 2022年12月15日

227 件中 1-15 件を表示

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2022-191540 2022-190806 2022-190829 2022-190831 2022-189239 2022-189252 2022-189307 2022-188558 2022-187075 2022-187176 2022-187178 2022-187179 2022-185724 2022-185727 2022-185887

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