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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第160位 226件
(
2021年:第150位 281件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第116位 299件
(
2021年:第114位 242件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2022-191540 | 基板支持機構、基板洗浄装置及び基板処理方法 | 2022年12月28日 | |
| 特開 2022-190806 | 水中ポンプの連結機構 | 2022年12月27日 | |
| 特開 2022-190829 | 基板処理装置及び情報処理システム | 2022年12月27日 | |
| 特開 2022-190831 | 基板洗浄装置、基板処理装置、ブレークイン装置、基板に付着する微粒子数の推定方法、基板洗浄部材の汚染度合い判定方法およびブレークイン処理の判定方法 | 2022年12月27日 | |
| 特開 2022-189239 | ポンプユニット | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-189252 | ポンプユニットおよびその製造方法ならびに排水システムの製造方法 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-189307 | 冷却ファン、電動機組立体 | 2022年12月22日 | |
| 特開 2022-188558 | 基板処理システム、及び基板処理方法 | 2022年12月21日 | |
| 特開 2022-187075 | グリス供給方法及びグリス供給システム | 2022年12月19日 | |
| 特開 2022-187176 | ポンプケーシング | 2022年12月19日 | |
| 特開 2022-187178 | 吐出合流部、ポンプケーシング、およびポンプ装置 | 2022年12月19日 | |
| 特開 2022-187179 | ポンプケーシング | 2022年12月19日 | |
| 特開 2022-185724 | ポンプユニット、ポンプ設備およびその製造方法、ならびに、排水システムおよびその製造方法 | 2022年12月15日 | |
| 特開 2022-185727 | 供給液体製造装置 | 2022年12月15日 | |
| 特開 2022-185887 | 振動センサ検査システム | 2022年12月15日 |
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2022-191540 2022-190806 2022-190829 2022-190831 2022-189239 2022-189252 2022-189307 2022-188558 2022-187075 2022-187176 2022-187178 2022-187179 2022-185724 2022-185727 2022-185887
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