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株式会社荏原製作所

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  2015年 出願公開件数ランキング    第206位 233件 上昇2014年:第223位 204件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第329位 83件 上昇2014年:第333位 116件)

(ランキング更新日:2021年11月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-232153 めっき装置及びめっき方法 2015年12月24日
特開 2015-233038 基板ホルダ用の基板着脱部及びこれを備えた湿式基板処理装置 2015年12月24日
特開 2015-233091 基板洗浄装置 2015年12月24日
特開 2015-233131 研磨装置 2015年12月24日
特開 2015-229196 研磨装置 2015年12月21日
特開 2015-230940 基板処理モジュール 2015年12月21日
特開 2015-231014 研磨装置および研磨方法 2015年12月21日
特開 2015-226938 研磨装置 2015年12月17日
特開 2015-226959 研磨液の研磨性能判定方法及び装置 2015年12月17日
特開 2015-227618 真空排気システム 2015年12月17日
特開 2015-227624 汚水ポンプ用のケーシングライナ及びこれを備えた汚水ポンプ 2015年12月17日
特開 2015-227644 液体ポンプおよび液体ポンプシステム 2015年12月17日
特開 2015-223641 研磨装置 2015年12月14日
特開 2015-224300 テープ貼り付け装置およびテープ貼り付け方法 2015年12月14日
特開 2015-221471 圧力校正用治具、及び、基板処理装置 2015年12月10日

236 件中 1-15 件を表示

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2015-232153 2015-233038 2015-233091 2015-233131 2015-229196 2015-230940 2015-231014 2015-226938 2015-226959 2015-227618 2015-227624 2015-227644 2015-223641 2015-224300 2015-221471

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