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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第206位 233件
(
2014年:第223位 204件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第329位 83件
(
2014年:第333位 116件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2015-232153 | めっき装置及びめっき方法 | 2015年12月24日 | |
| 特開 2015-233038 | 基板ホルダ用の基板着脱部及びこれを備えた湿式基板処理装置 | 2015年12月24日 | |
| 特開 2015-233091 | 基板洗浄装置 | 2015年12月24日 | |
| 特開 2015-233131 | 研磨装置 | 2015年12月24日 | |
| 特開 2015-229196 | 研磨装置 | 2015年12月21日 | |
| 特開 2015-230940 | 基板処理モジュール | 2015年12月21日 | |
| 特開 2015-231014 | 研磨装置および研磨方法 | 2015年12月21日 | |
| 特開 2015-226938 | 研磨装置 | 2015年12月17日 | |
| 特開 2015-226959 | 研磨液の研磨性能判定方法及び装置 | 2015年12月17日 | |
| 特開 2015-227618 | 真空排気システム | 2015年12月17日 | |
| 特開 2015-227624 | 汚水ポンプ用のケーシングライナ及びこれを備えた汚水ポンプ | 2015年12月17日 | |
| 特開 2015-227644 | 液体ポンプおよび液体ポンプシステム | 2015年12月17日 | |
| 特開 2015-223641 | 研磨装置 | 2015年12月14日 | |
| 特開 2015-224300 | テープ貼り付け装置およびテープ貼り付け方法 | 2015年12月14日 | |
| 特開 2015-221471 | 圧力校正用治具、及び、基板処理装置 | 2015年12月10日 |
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2015-232153 2015-233038 2015-233091 2015-233131 2015-229196 2015-230940 2015-231014 2015-226938 2015-226959 2015-227618 2015-227624 2015-227644 2015-223641 2015-224300 2015-221471
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