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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-217595 研磨装置、研磨方法、及び研磨制御プログラム 2019年12月26日
特開 2019-217617 渦電流センサの軌道を特定する方法、基板の研磨の進行度を算出する方法、基板研磨装置の動作を停止する方法および基板研磨の進行度を均一化する方法、これらの方法を実行するためのプログラムならびに当該プログラムが記録された非一過性の記録媒体 2019年12月26日
特開 2019-218618 めっき装置、及びめっき方法 2019年12月26日
特開 2019-214495 パージ方法、パージのための制御装置、および制御装置を備えるシステム 2019年12月19日
特開 2019-215957 ビームベンダ 2019年12月19日
特開 2019-216152 基板搬送システムのためのティーチング装置およびティーチング方法 2019年12月19日
特開 2019-216207 基板処理方法 2019年12月19日
特開 2019-209410 研磨装置、及び研磨装置のための洗浄方法 2019年12月12日
特開 2019-210499 Ni−Fe基合金粉末、及び当該Ni−Fe基合金粉末を用いる合金皮膜の製造方法 2019年12月12日
特開 2019-210515 めっき方法、めっき装置、及び限界電流密度を推定する方法 2019年12月12日
特開 2019-210808 ポンプ設備およびポンプ設備の点検方法 2019年12月12日
特開 2019-210809 ポンプ設備およびポンプ設備の維持管理方法 2019年12月12日
特開 2019-210819 給水装置を制御するための制御ユニット、及び給水装置 2019年12月12日
特開 2019-210820 給水装置を制御するための制御ユニット、及び給水装置 2019年12月12日
特開 2019-210869 ポンプ装置、及びポンプ装置の羽根車隙間調整方法 2019年12月12日

326 件中 1-15 件を表示

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2019-217595 2019-217617 2019-218618 2019-214495 2019-215957 2019-216152 2019-216207 2019-209410 2019-210499 2019-210515 2019-210808 2019-210809 2019-210819 2019-210820 2019-210869

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