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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2023-183672 | ポンプ設備及び制御装置 | 2023年12月28日 | |
| 特開 2023-182332 | めっき装置用抵抗体、及び、めっき装置 | 2023年12月26日 | |
| 特開 2023-181866 | ポンプ運転支援方法、及び、ポンプ運転支援装置 | 2023年12月25日 | |
| 特開 2023-180098 | 軸受 | 2023年12月20日 | |
| 特開 2023-177421 | 研磨装置 | 2023年12月14日 | |
| 特開 2023-177586 | 電子線観察装置の1次光学系を評価する方法、そのために用いられる評価装置およびその製造方法 | 2023年12月14日 | |
| 特開 2023-176146 | 排水送出装置 | 2023年12月13日 | |
| 特開 2023-175275 | 磁気軸受装置 | 2023年12月12日 | |
| 特開 2023-173562 | 直列に連結されたポンプ装置の始動方法および停止方法 | 2023年12月 7日 | |
| 特開 2023-174205 | 研磨パッド寿命推定方法および研磨装置 | 2023年12月 7日 | |
| 特開 2023-174274 | 研磨装置及び研磨方法 | 2023年12月 7日 | |
| 特開 2023-174361 | 機械学習方法及び機械学習装置 | 2023年12月 7日 | |
| 特開 2023-170262 | 基板研磨方法、プログラム、および、基板研磨装置 | 2023年12月 1日 | |
| 特開 2023-169756 | 真空ステーション及び真空ポンプ封水処理方法 | 2023年11月30日 | |
| 特開 2023-167409 | 電子線観察方法、電子線観察装置、電子線観察装置用の開口絞りモジュールおよび電子線観察装置用の開口絞りセット | 2023年11月24日 |
193 件中 1-15 件を表示
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2023-183672 2023-182332 2023-181866 2023-180098 2023-177421 2023-177586 2023-176146 2023-175275 2023-173562 2023-174205 2023-174274 2023-174361 2023-170262 2023-169756 2023-167409
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