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株式会社荏原製作所

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  2023年 出願公開件数ランキング    第197位 193件 下降2022年:第160位 226件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第172位 201件 下降2022年:第116位 299件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-183672 ポンプ設備及び制御装置 2023年12月28日
特開 2023-182332 めっき装置用抵抗体、及び、めっき装置 2023年12月26日
特開 2023-181866 ポンプ運転支援方法、及び、ポンプ運転支援装置 2023年12月25日
特開 2023-180098 軸受 2023年12月20日
特開 2023-177421 研磨装置 2023年12月14日
特開 2023-177586 電子線観察装置の1次光学系を評価する方法、そのために用いられる評価装置およびその製造方法 2023年12月14日
特開 2023-176146 排水送出装置 2023年12月13日
特開 2023-175275 磁気軸受装置 2023年12月12日
特開 2023-173562 直列に連結されたポンプ装置の始動方法および停止方法 2023年12月 7日
特開 2023-174205 研磨パッド寿命推定方法および研磨装置 2023年12月 7日
特開 2023-174274 研磨装置及び研磨方法 2023年12月 7日
特開 2023-174361 機械学習方法及び機械学習装置 2023年12月 7日
特開 2023-170262 基板研磨方法、プログラム、および、基板研磨装置 2023年12月 1日
特開 2023-169756 真空ステーション及び真空ポンプ封水処理方法 2023年11月30日
特開 2023-167409 電子線観察方法、電子線観察装置、電子線観察装置用の開口絞りモジュールおよび電子線観察装置用の開口絞りセット 2023年11月24日

193 件中 1-15 件を表示

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2023-183672 2023-182332 2023-181866 2023-180098 2023-177421 2023-177586 2023-176146 2023-175275 2023-173562 2023-174205 2023-174274 2023-174361 2023-170262 2023-169756 2023-167409

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