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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-240609 真空ポンプシステム 2014年12月25日
特開 2014-239050 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 2014年12月18日
特開 2014-239012 検査装置 2014年12月18日
特開 2014-237865 電解銅めっき装置 2014年12月18日
特開 2014-233774 ロボットアーム制御装置、基板搬送装置、基板処理装置、ロボットアーム制御方法およびプログラム 2014年12月15日
特開 2014-236546 モータ、ポンプ 2014年12月15日
特開 2014-234665 地下排水機場およびその運転方法 2014年12月15日
特開 2014-231823 ポンプ装置 2014年12月11日
特開 2014-233117 潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法 2014年12月11日
特開 2014-231822 除害機能付真空ポンプ 2014年12月11日
特開 2014-228930 サーボ制御装置 2014年12月 8日
特開 2014-227968 除害機能付真空ポンプ 2014年12月 8日
特開 2014-229655 基板洗浄装置 2014年12月 8日
特開 2014-229181 基板処理装置 2014年12月 8日
特開 2014-225476 検出装置及び検査装置 2014年12月 4日

204 件中 1-15 件を表示

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2014-240609 2014-239050 2014-239012 2014-237865 2014-233774 2014-236546 2014-234665 2014-231823 2014-233117 2014-231822 2014-228930 2014-227968 2014-229655 2014-229181 2014-225476

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