株式会社荏原製作所
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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第149位 261件
（
2019年：第134位 320件）
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第151位 191件
（
2019年：第167位 167件）
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6643942 | 洗浄部材、基板洗浄装置及び基板処理装置 | 2020年 2月12日 | |
| 特許 6639881 | 多段ポンプ | 2020年 2月 5日 | |
| 特許 6640041 | 洗浄装置及び基板処理装置 | 2020年 2月 5日 | |
| 特許 6641197 | 基板の研磨装置および研磨方法 | 2020年 2月 5日 | |
| 特許 6637265 | 給水装置 | 2020年 1月29日 | |
| 特許 6637293 | 排ガス処理装置 | 2020年 1月29日 | |
| 特許 6637625 | 構造体の余寿命を推定する方法 | 2020年 1月29日 | |
| 特許 6632900 | 基板洗浄装置、洗浄具および基板処理装置、ならびに、洗浄具の取り外し、取り付けおよび交換方法 | 2020年 1月22日 | |
| 特許 6633175 | 基板保持装置及び弾性膜 | 2020年 1月22日 | |
| 特許 6634307 | ポンプシステム | 2020年 1月22日 | |
| 特許 6629052 | 水中ポンプ | 2020年 1月15日 | |
| 特許 6629420 | 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 | 2020年 1月15日 | |
| 特許 6629626 | 熱交換器 | 2020年 1月15日 | |
| 特許 6630174 | 真空ポンプ | 2020年 1月15日 | |
| 特許 6630231 | リテーナリング、基板保持装置及び基板研磨装置 | 2020年 1月15日 |
195 件中 181-195 件を表示
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6643942 6639881 6640041 6641197 6637265 6637293 6637625 6632900 6633175 6634307 6629052 6629420 6629626 6630174 6630231
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