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株式会社荏原製作所

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  2020年 特許取得件数ランキング    第151位 191件 上昇2019年:第168位 167件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6643942 洗浄部材、基板洗浄装置及び基板処理装置 2020年 2月12日
特許 6639881 多段ポンプ 2020年 2月 5日
特許 6640041 洗浄装置及び基板処理装置 2020年 2月 5日
特許 6641197 基板の研磨装置および研磨方法 2020年 2月 5日
特許 6637265 給水装置 2020年 1月29日
特許 6637293 排ガス処理装置 2020年 1月29日
特許 6637625 構造体の余寿命を推定する方法 2020年 1月29日
特許 6632900 基板洗浄装置、洗浄具および基板処理装置、ならびに、洗浄具の取り外し、取り付けおよび交換方法 2020年 1月22日
特許 6633175 基板保持装置及び弾性膜 2020年 1月22日
特許 6634307 ポンプシステム 2020年 1月22日
特許 6629052 水中ポンプ 2020年 1月15日
特許 6629420 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 2020年 1月15日
特許 6629626 熱交換器 2020年 1月15日
特許 6630174 真空ポンプ 2020年 1月15日
特許 6630231 リテーナリング、基板保持装置及び基板研磨装置 2020年 1月15日

195 件中 181-195 件を表示

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6643942 6639881 6640041 6641197 6637265 6637293 6637625 6632900 6633175 6634307 6629052 6629420 6629626 6630174 6630231

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