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株式会社荏原製作所

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  2020年 出願公開件数ランキング    第163位 266件 下降2019年:第145位 326件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第151位 191件 上昇2019年:第168位 167件)

(ランキング更新日:2022年8月18日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6739295 基板ホルダ、めっき装置、及び基板を保持する方法 2020年 8月12日
特許 6739307 基板ホルダ、めっき装置、及び基板ホルダの製造方法 2020年 8月12日
特許 6736713 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 2020年 8月 5日
特許 6731767 真空式汚水収集システムに使用される流れ検知装置、真空式汚水収集システム、真空弁監視装置及び監視方法 2020年 7月29日
特許 6731827 基板研磨装置、基板処理装置、ドレッサディスク、ドレッサディスクの取り外し方法、ドレッサディスクの取り付け方法およびドレッサディスクの交換方法 2020年 7月29日
特許 6726019 給水装置 2020年 7月22日
特許 6726031 ポンプユニット 2020年 7月22日
特許 6727044 基板処理装置 2020年 7月22日
特許 6727117 基板着脱装置、めっき装置、基板着脱装置の制御装置、基板着脱装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 2020年 7月22日
特許 6727761 研磨装置、及び、研磨方法 2020年 7月22日
特許 6721345 ポンプ装置 2020年 7月15日
特許 6721967 バフ処理装置および基板処理装置 2020年 7月15日
特許 6722065 排水システム、排水ポンプ車および排水方法 2020年 7月15日
特許 6723055 基板処理装置および基板有無確認方法 2020年 7月15日
特許 6723105 排水システムおよび排水方法 2020年 7月15日

195 件中 76-90 件を表示

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6739295 6739307 6736713 6731767 6731827 6726019 6726031 6727044 6727117 6727761 6721345 6721967 6722065 6723055 6723105

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