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株式会社荏原製作所

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  2023年 出願公開件数ランキング    第197位 193件 下降2022年:第160位 226件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第172位 201件 下降2022年:第116位 299件)

(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7236990 パッドの表面温度を調整するためのシステムおよび研磨装置 2023年 3月10日
特許 7237136 回転体の最大押付荷重決定方法、および回転体の最大押付荷重決定プログラム 2023年 3月10日
特許 7233588 めっき装置 2023年 3月 6日
特許 7233624 プリウェットモジュール 2023年 3月 6日
特許 7227875 基板ホルダおよびめっき装置 2023年 2月22日
特許 7224128 基板用洗浄具、基板洗浄装置、基板処理装置、基板処理方法および基板用洗浄具の製造方法 2023年 2月17日
特許 7224202 基板研磨システム及び方法並びに基板研磨装置 2023年 2月17日
特許 7224265 機械学習装置、基板処理装置、学習済みモデル、機械学習方法、機械学習プログラム 2023年 2月17日
特許 7224403 基板洗浄装置および基板洗浄方法 2023年 2月17日
特許 7222848 電磁石制御装置および電磁石システム 2023年 2月15日
特許 7221736 研磨方法および研磨装置 2023年 2月14日
特許 7221057 窒素酸化物を含むガスの処理装置、および処理方法 2023年 2月13日
特許 7221157 AM装置 2023年 2月13日
特許 7220573 情報処理システム、情報処理方法、プログラム及び基板処理装置 2023年 2月10日
特許 7220648 基板処理装置および基板処理方法 2023年 2月10日

207 件中 166-180 件を表示

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7236990 7237136 7233588 7233624 7227875 7224128 7224202 7224265 7224403 7222848 7221736 7221057 7221157 7220573 7220648

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