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株式会社荏原製作所

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  2024年 出願公開件数ランキング    第173位 202件 上昇2023年:第197位 193件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第185位 185件 下降2023年:第172位 201件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7588521 基板洗浄装置、基板洗浄装置の異常判定方法、基板洗浄装置の異常判定プログラム 2024年11月22日
特許 7588522 機械学習装置、圧力タンク状態推定装置、推論装置、機械学習方法、機械学習プログラム、圧力タンク状態推定方法、圧力タンク状態推定プログラム、推論方法、及び、推論プログラム 2024年11月22日
特許 7588523 機械学習装置、状態診断装置、推論装置、機械学習方法、機械学習プログラム、状態診断方法、状態診断プログラム、推論方法、及び、推論プログラム 2024年11月22日
特許 7584361 基板洗浄装置、基板処理装置 2024年11月15日
特許 7581443 基板を保持するためのトップリングおよび基板処理装置 2024年11月12日
特許 7580298 軸受振動減衰装置 2024年11月11日
特許 7579152 半導体製造装置におけるデータの管理方法、およびリングバッファを備えた制御装置 2024年11月 7日
特許 7578540 多元冷凍サイクル装置 2024年11月 6日
特許 7577547 めっき装置における短絡検知方法、めっき装置の制御方法、およびめっき装置 2024年11月 5日
特許 7577565 めっき装置及びめっき方法 2024年11月 5日
特許 7576482 流体供給装置、コンピュータ 2024年10月31日
特許 7576483 機械学習装置、設定装置、推論装置、機械学習方法、設定方法、推論方法、機械学習プログラム、設定プログラム、及び、推論プログラム 2024年10月31日
特許 7575309 膜厚測定方法、ノッチ部の検出方法、および研磨装置 2024年10月29日
特許 7574087 研磨装置及び研磨方法 2024年10月28日
特許 7573488 燃料漏洩監視システム 2024年10月25日

187 件中 16-30 件を表示

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7588521 7588522 7588523 7584361 7581443 7580298 7579152 7578540 7577547 7577565 7576482 7576483 7575309 7574087 7573488

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