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ＳＰＰテクノロジーズ株式会社
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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第2668位 8件
（
2012年：第4129位 4件）
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1767位 13件
（2012年：第3300位 5件）
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ＳＰＰテクノロジーズ株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5350174 | プラズマエッチング方法 | 2013年11月27日 | |
| 特許 5308080 | シリコン構造体の製造方法及びその製造装置並びにその製造プログラム | 2013年10月 9日 | |
| 特許 5283475 | プラズマ制御用電源装置 | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5256325 | シリコンエッチング方法及び装置並びにエッチングシリコン体 | 2013年 8月 7日 | |
| 特許 5250445 | プラズマ処理装置 | 2013年 7月31日 | |
| 特許 5250611 | 誘導結合プラズマ・リアクタ | 2013年 7月31日 | |
| 特許 5234591 | 終点検出可能なプラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 | 2013年 7月10日 | |
| 特許 5198685 | プラズマエッチング方法 | 2013年 5月15日 | |
| 特許 5188849 | プラズマ処理装置 | 2013年 4月24日 | |
| 特許 5179455 | プラズマエッチング方法 | 2013年 4月10日 | |
| 特許 5177997 | 高アスペクト比の開口を有するシリコン構造体、その製造方法、その製造装置、及びその製造プログラム | 2013年 4月10日 | |
| 特許 5172417 | シリコン構造体の製造方法及びその製造装置並びにその製造プログラム | 2013年 3月27日 | |
| 特許 5135271 | エッチング方法 | 2013年 2月 6日 |
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5350174 5308080 5283475 5256325 5250445 5250611 5234591 5198685 5188849 5179455 5177997 5172417 5135271
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