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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1503位 18件 上昇2016年:第2110位 10件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1304位 15件 上昇2016年:第2983位 5件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6236709 シリコン窒化膜の製造方法及びシリコン窒化膜 2017年11月29日
特許 6226777 プラズマ処理装置の異常放電予知方法及び装置、並びに異常放電予知機能付きプラズマ処理装置 2017年11月 8日
特許 6225005 積層膜及びその製造方法 2017年11月 1日
特許 6220409 プラズマエッチング方法 2017年10月25日
特許 6208275 炭化珪素半導体素子の製造方法 2017年10月 4日
特許 6183965 シリコン酸化膜及びその製造方法、並びにシリコン酸化膜の製造装置 2017年 8月23日
特許 6178145 プラズマ処理装置 2017年 8月 9日
特許 6175558 プラズマ処理装置 2017年 8月 2日
特許 6157396 リンク装置 2017年 7月 5日
特許 6130313 プラズマエッチング方法 2017年 5月17日
特許 6110530 プラズマエッチング装置 2017年 4月 5日
特許 6110865 プラズマエッチング装置 2017年 4月 5日
特許 6082639 プラズマエッチング方法 2017年 2月15日
特許 6077147 プラズマ基板処理装置、その制御プログラム、これを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2017年 2月 8日
特許 6069654 被処理基板のプラズマ処理用載置台及びこれを用いたプラズマ処理装置 2017年 2月 1日

16 件中 1-15 件を表示

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6236709 6226777 6225005 6220409 6208275 6183965 6178145 6175558 6157396 6130313 6110530 6110865 6082639 6077147 6069654

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