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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第1503位 18件 (2016年:第2110位 10件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第1304位 15件 (2016年:第2983位 5件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6236709 | シリコン窒化膜の製造方法及びシリコン窒化膜 | 2017年11月29日 | |
特許 6226777 | プラズマ処理装置の異常放電予知方法及び装置、並びに異常放電予知機能付きプラズマ処理装置 | 2017年11月 8日 | |
特許 6225005 | 積層膜及びその製造方法 | 2017年11月 1日 | |
特許 6220409 | プラズマエッチング方法 | 2017年10月25日 | |
特許 6208275 | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | 2017年10月 4日 | |
特許 6183965 | シリコン酸化膜及びその製造方法、並びにシリコン酸化膜の製造装置 | 2017年 8月23日 | |
特許 6178145 | プラズマ処理装置 | 2017年 8月 9日 | |
特許 6175558 | プラズマ処理装置 | 2017年 8月 2日 | |
特許 6157396 | リンク装置 | 2017年 7月 5日 | |
特許 6130313 | プラズマエッチング方法 | 2017年 5月17日 | |
特許 6110530 | プラズマエッチング装置 | 2017年 4月 5日 | |
特許 6110865 | プラズマエッチング装置 | 2017年 4月 5日 | |
特許 6082639 | プラズマエッチング方法 | 2017年 2月15日 | |
特許 6077147 | プラズマ基板処理装置、その制御プログラム、これを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6069654 | 被処理基板のプラズマ処理用載置台及びこれを用いたプラズマ処理装置 | 2017年 2月 1日 |
16 件中 1-15 件を表示
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6236709 6226777 6225005 6220409 6208275 6183965 6178145 6175558 6157396 6130313 6110530 6110865 6082639 6077147 6069654
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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