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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第5373位 3件
(2017年:第4465位 4件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第5366位 2件
(2017年:第24017位 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6423534 | 二酸化ケイ素基板のエッチング方法およびエッチング装置 | 2018年11月14日 | |
特許 6336088 | カセット位置決め装置および半導体処理機器 | 2018年 6月 6日 |
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6423534 6336088
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