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北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司

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  2025年 出願公開件数ランキング    第1033位 22件 上昇2024年:第1272位 18件)

  2025年 特許取得件数ランキング    第965位 21件 下降2024年:第909位 25件)

(ランキング更新日:2026年1月26日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7793076 吸気アセンブリ、プロセスチャンバー及び半導体プロセス装置 2025年12月26日
特許 7791316 プロセスチャンバ、半導体プロセス装置及び半導体プロセス方法 2025年12月23日
特許 7774725 プラズマ半導体処理用のセグメント化されたフォーカスリングおよびセグメント化されたフォーカスリングを使用するように構成された処理ツール 2025年11月21日
特許 7769725 半導体プロセス装置及びそのガス混合供給手段 2025年11月13日
特許 7761772 温度制御方法 2025年10月28日
特許 7761782 プラズマ発生用コイル構造及び半導体プロセス装置 2025年10月28日
特許 7759526 誘導コイルアセンブリの駆動システムおよびその制御方法、半導体プロセス装置 2025年10月23日
特許 7746607 半導体プロセス装置及びそのプロセスチャンバー並びにトレイの検出方法 2025年 9月30日
特許 7727098 プラズマ半導体プロセス用の多層フォーカスリング 2025年 8月20日
特許 7727152 半導体プロセスチャンバー及び半導体プロセス機器 2025年 8月20日
特許 7724388 プロセスチャンバー、半導体プロセス機器及びプロセス方法 2025年 8月15日
特許 7719296 複数の無線周波数(RF)電極を含む基板支持体 2025年 8月 5日
特許 7710987 シールド冷却アセンブリ、反応チャンバ、および半導体処理装置 2025年 7月22日
特許 7704976 半導体プロセスレシピの取得方法、システム及び半導体プロセス装置 2025年 7月 8日
特許 7704988 半導体プロセス機器及びその載置装置 2025年 7月 8日

21 件中 1-15 件を表示

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7793076 7791316 7774725 7769725 7761772 7761782 7759526 7746607 7727098 7727152 7724388 7719296 7710987 7704976 7704988

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