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北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司

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 ■ 2025年 特許取得件数ランキング    第943位 22件 (下降2024年:第936位 24件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7793076 吸気アセンブリ、プロセスチャンバー及び半導体プロセス装置 2025年12月26日
特許 7791316 プロセスチャンバ、半導体プロセス装置及び半導体プロセス方法 2025年12月23日
特許 7783439 凝縮水分離装置及び半導体プロセス装置 2025年12月 9日
特許 7774725 プラズマ半導体処理用のセグメント化されたフォーカスリングおよびセグメント化されたフォーカスリングを使用するように構成された処理ツール 2025年11月21日
特許 7769725 半導体プロセス装置及びそのガス混合供給手段 2025年11月13日
特許 7761782 プラズマ発生用コイル構造及び半導体プロセス装置 2025年10月28日
特許 7761772 温度制御方法 2025年10月28日
特許 7759526 誘導コイルアセンブリの駆動システムおよびその制御方法、半導体プロセス装置 2025年10月23日
特許 7746607 半導体プロセス装置及びそのプロセスチャンバー並びにトレイの検出方法 2025年 9月30日
特許 7727098 プラズマ半導体プロセス用の多層フォーカスリング 2025年 8月20日
特許 7727152 半導体プロセスチャンバー及び半導体プロセス機器 2025年 8月20日
特許 7724388 プロセスチャンバー、半導体プロセス機器及びプロセス方法 2025年 8月15日
特許 7719296 複数の無線周波数(RF)電極を含む基板支持体 2025年 8月 5日
特許 7710987 シールド冷却アセンブリ、反応チャンバ、および半導体処理装置 2025年 7月22日
特許 7704988 半導体プロセス機器及びその載置装置 2025年 7月 8日

22 件中 1-15 件を表示

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7793076 7791316 7783439 7774725 7769725 7761782 7761772 7759526 7746607 7727098 7727152 7724388 7719296 7710987 7704988

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