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北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司

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  2022年 出願公開件数ランキング    第2007位 11件 上昇2021年:第3677位 5件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第2054位 9件 上昇2021年:第3400位 4件)

(ランキング更新日:2025年3月19日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7190566 誘導コイル・アッセンブリおよび反応チャンバ 2022年12月15日
特許 7179960 マシンの制御システムおよび方法ならびにホストコンピュータ 2022年11月29日
特許 7179985 噴霧デバイスおよび洗浄装置 2022年11月29日
特許 7159490 プラズマシステムに適用される方法と関連のプラズマシステム 2022年10月24日
特許 7124213 原子層堆積プロセスのためのガス吸気デバイスおよび原子層堆積装置 2022年 8月23日
特許 7105373 無線周波数源のコントロール方法 2022年 7月22日
特許 7093464 反応チャンバおよびプラズマ装置 2022年 6月29日
特許 7030804 磁性薄膜堆積チャンバおよび薄膜堆積装置 2022年 3月 7日
特許 7012708 脱気方法、脱気チャンバ、および半導体処理装置 2022年 1月28日

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7190566 7179960 7179985 7159490 7124213 7105373 7093464 7030804 7012708

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