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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2007位 11件
(
2021年:第3677位 5件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2054位 9件
(
2021年:第3400位 4件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7190566 | 誘導コイル・アッセンブリおよび反応チャンバ | 2022年12月15日 | |
| 特許 7179960 | マシンの制御システムおよび方法ならびにホストコンピュータ | 2022年11月29日 | |
| 特許 7179985 | 噴霧デバイスおよび洗浄装置 | 2022年11月29日 | |
| 特許 7159490 | プラズマシステムに適用される方法と関連のプラズマシステム | 2022年10月24日 | |
| 特許 7124213 | 原子層堆積プロセスのためのガス吸気デバイスおよび原子層堆積装置 | 2022年 8月23日 | |
| 特許 7105373 | 無線周波数源のコントロール方法 | 2022年 7月22日 | |
| 特許 7093464 | 反応チャンバおよびプラズマ装置 | 2022年 6月29日 | |
| 特許 7030804 | 磁性薄膜堆積チャンバおよび薄膜堆積装置 | 2022年 3月 7日 | |
| 特許 7012708 | 脱気方法、脱気チャンバ、および半導体処理装置 | 2022年 1月28日 |
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7190566 7179960 7179985 7159490 7124213 7105373 7093464 7030804 7012708
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