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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第2557位 8件
(
2018年:第5373位 3件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第5347位 2件
(
2018年:第5366位 2件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6619818 | パルス高周波電源のインピーダンス整合方法および装置 | 2019年12月11日 | |
| 特許 6454409 | 原子層エッチング装置および同装置を用いる原子層のエッチング方法 | 2019年 1月16日 |
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6619818 6454409
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