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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第4292位 4件
(
2019年:第2557位 8件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第2756位 5件
(
2019年:第5347位 2件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6793903 | 焼鈍処理方法、処理チャンバ、及び焼鈍装置 | 2020年12月 2日 | |
| 特許 6793904 | マグネトロン、マグネトロンスパッタリングチャンバー及びマグネトロンスパッタリング装置 | 2020年12月 2日 | |
| 特許 6780009 | インピーダンス整合システム、インピーダンス整合方法および半導体処理装置 | 2020年11月 4日 | |
| 特許 6718972 | 表面波プラズマ装置 | 2020年 7月 8日 | |
| 特許 6663994 | 静電チャック機構および半導体処理装置 | 2020年 3月13日 |
5 件中 1-5 件を表示
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6793903 6793904 6780009 6718972 6663994
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