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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7606048	半導体プロセスチャンバ、半導体プロセス装置及び半導体プロセス方法	2024年12月24日
特許 7602627	温度変化速度の制御装置、方法及び半導体プロセス装置	2024年12月18日
特許 7598462	半導体熱処理設備の載置装置及び半導体熱処理設備	2024年12月11日
特許 7598495	プラズマを生成するためのコイル装置及び半導体プロセス装置	2024年12月11日
特許 7594710	半導体プロセス装置及びそのウェハ支持構造	2024年12月 4日
特許 7588254	半導体プロセスデバイスにおける載置装置及び半導体プロセスデバイス	2024年11月21日
特許 7576176	メタルハードマスクのエッチング方法	2024年10月30日
特許 7576191	プラズマを生成するためのコイル構造及び半導体プロセス装置	2024年10月30日
特許 7558408	静電チャック及び半導体プロセス装置	2024年 9月30日
特許 7557548	加熱装置および半導体処理装置	2024年 9月27日
特許 7540090	半導体プロセス装置及び電力制御方法	2024年 8月26日
特許 7530519	シリコンチップのエッチング方法	2024年 8月 7日
特許 7522931	酸化物薄膜の製造方法	2024年 7月25日
特許 7495577	半導体反応チャンバ	2024年 6月 4日
特許 7482328	半導体プロセス装置及びプラズマ点火方法	2024年 5月13日

25 件中 1-15 件を表示

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7606048 7602627 7598462 7598495 7594710 7588254 7576176 7576191 7558408 7557548 7540090 7530519 7522931 7495577 7482328

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