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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6968973 | 静電チャックおよびプラズマ処理装置 | 2021年11月24日 | |
特許 6928124 | 可変コンデンサ、インピーダンス整合器および半導体加工装置 | 2021年 9月 1日 | |
特許 6921964 | 脱気チャンバおよび半導体処理装置 | 2021年 8月18日 | |
特許 6901557 | 磁性薄膜積層構造体の堆積方法、磁性薄膜積層構造体およびマイクロインダクタンス装置 | 2021年 7月14日 |
4 件中 1-4 件を表示
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6968973 6928124 6921964 6901557
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