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バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー

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  2018年 出願公開件数ランキング    第928位 29件 上昇2017年:第2121位 11件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第899位 23件 上昇2017年:第2056位 8件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6445375 選択 有機アミノジシラン前駆体、及びそれを含む膜の堆積方法 2018年12月26日
特許 6437962 選択 13族金属又は半金属の窒化物膜の堆積方法 2018年12月12日
特許 6430925 選択 シリコンパッシベーションの改善された半水性フォトレジスト又は半導体製造残留物剥離及び洗浄用組成物 2018年11月28日
特許 6426538 選択 アルキルアルコキシシラ環状化合物及びそれを用いた膜の堆積方法 2018年11月21日
特許 6408506 選択 窒化チタンハードマスクの選択的除去及びエッチング残留物の除去 2018年10月17日
特許 6404540 選択 有機アミノシラン前駆体、並びにその製造方法及び使用方法 2018年10月10日
特許 6371322 選択 多成分膜の製造方法 2018年 8月 8日
特許 6359999 選択 ケイ素含有膜を調製するための方法 2018年 7月18日
特許 6356630 選択 酸素不含ケイ素系膜及びその形成方法 2018年 7月11日
特許 6339555 選択 高いWN/W選択率を有するストリッピング組成物 2018年 6月 6日
特許 6334474 選択 シャロートレンチアイソレーション(STI)用の化学機械研磨(CMP)組成物、及びその製造方法 2018年 5月30日
特許 6325613 選択 化学気相成長用組成物 2018年 5月16日
特許 6317377 選択 ビスアミノアルコキシシラン化合物及びケイ素含有膜を堆積するためのその使用法 2018年 4月25日
特許 6309999 選択 窒化チタンハードマスク及びエッチ残留物除去 2018年 4月11日
特許 6310018 選択 ハロゲン化オルガノアミノシラン前駆体及びそれを含む膜の堆積方法 2018年 4月11日

23 件中 1-15 件を表示

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6445375 6437962 6430925 6426538 6408506 6404540 6371322 6359999 6356630 6339555 6334474 6325613 6317377 6309999 6310018

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