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バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー

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バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6445375	有機アミノジシラン前駆体、及びそれを含む膜の堆積方法	2018年12月26日
特許 6437962	１３族金属又は半金属の窒化物膜の堆積方法	2018年12月12日
特許 6430925	シリコンパッシベーションの改善された半水性フォトレジスト又は半導体製造残留物剥離及び洗浄用組成物	2018年11月28日
特許 6426538	アルキルアルコキシシラ環状化合物及びそれを用いた膜の堆積方法	2018年11月21日
特許 6408506	窒化チタンハードマスクの選択的除去及びエッチング残留物の除去	2018年10月17日
特許 6404540	有機アミノシラン前駆体、並びにその製造方法及び使用方法	2018年10月10日
特許 6371322	多成分膜の製造方法	2018年 8月 8日
特許 6359999	ケイ素含有膜を調製するための方法	2018年 7月18日
特許 6356630	酸素不含ケイ素系膜及びその形成方法	2018年 7月11日
特許 6339555	高いＷＮ／Ｗ選択率を有するストリッピング組成物	2018年 6月 6日
特許 6334474	シャロートレンチアイソレーション（ＳＴＩ）用の化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物、及びその製造方法	2018年 5月30日
特許 6325613	化学気相成長用組成物	2018年 5月16日
特許 6317377	ビスアミノアルコキシシラン化合物及びケイ素含有膜を堆積するためのその使用法	2018年 4月25日
特許 6309999	窒化チタンハードマスク及びエッチ残留物除去	2018年 4月11日
特許 6310018	ハロゲン化オルガノアミノシラン前駆体及びそれを含む膜の堆積方法	2018年 4月11日

23 件中 1-15 件を表示

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6445375 6437962 6430925 6426538 6408506 6404540 6371322 6359999 6356630 6339555 6334474 6325613 6317377 6309999 6310018

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