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バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー

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  2021年 出願公開件数ランキング    第1583位 15件 下降2020年:第680位 43件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第590位 38件 上昇2020年:第914位 22件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6983854 酸化ケイ素腐食防止剤を有するエッチング溶液、及びその使用方法 2021年12月17日
特許 6980821 調節可能な酸化ケイ素及び窒化ケイ素除去速度を有するシャロートレンチアイソレーション(STI)化学機械平坦化(CMP)研磨 2021年12月15日
特許 6974394 低酸化物トレンチディッシング化学機械研磨 2021年12月 1日
特許 6974417 気相堆積のための低ハロゲン化物ランタン前駆体 2021年12月 1日
特許 6970213 ケイ素含有膜の堆積のためのオルガノアミノ−ポリシロキサン 2021年11月24日
特許 6963684 半導体装置の製造においてケイ素−ゲルマニウム/ケイ素積層体からケイ素およびケイ素−ゲルマニウム合金を同時に除去するためのエッチング溶液 2021年11月10日
特許 6959147 ハライドシラン化合物及び組成物並びにそれを使用してケイ素含有膜を堆積するためのプロセス 2021年11月 2日
特許 6959304 ケイ素及び窒素を含有する膜を製造する方法 2021年11月 2日
特許 6959334 高密度OSG膜用シリル架橋アルキル化合物の使用 2021年11月 2日
特許 6959368 ガス供給装置 2021年11月 2日
特許 6949912 ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを使用した方法 2021年10月13日
特許 6944486 フォトレジストストリッピング組成物及び方法 2021年10月 6日
特許 6940557 酸化物エロージョン低減のためのタングステン化学機械研磨 2021年 9月29日
特許 6942722 基材から材料を除去するための水溶液及びプロセス 2021年 9月29日
特許 6932683 エッチング液及びその使用方法 2021年 9月 8日

38 件中 1-15 件を表示

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6983854 6980821 6974394 6974417 6970213 6963684 6959147 6959304 6959334 6959368 6949912 6944486 6940557 6942722 6932683

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