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バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー

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  2022年 出願公開件数ランキング    第661位 43件 上昇2021年:第1583位 15件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第725位 34件 下降2021年:第590位 38件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7193478 高成長速度ケイ素含有膜の前駆体としての官能化シクロシラザン 2022年12月20日
特許 7182680 ケイ素及び窒素を含有する膜を製造する方法 2022年12月 2日
特許 7177209 有機アミノジシラン前駆体、及びそれを含む膜の堆積方法 2022年11月22日
特許 7153100 炭素ドープケイ素含有膜のための組成物およびそれを用いた方法 2022年10月13日
特許 7152576 ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを使用した方法 2022年10月12日
特許 7141426 ケイ素含有膜の堆積のための有機アミノ官能化直鎖状及び環状オリゴシロキサン 2022年 9月22日
特許 7139475 ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを用いた方法 2022年 9月20日
特許 7130608 化学機械平坦化組成物用の複合研磨粒子及びその使用方法 2022年 9月 5日
特許 7126973 タングステン含有金属およびTiN含有材料の両方に好適なエッチング溶液 2022年 8月29日
特許 7125515 組成物、及びケイ素含有膜の堆積のための組成物を使用する方法 2022年 8月24日
特許 7121696 低酸化物トレンチディッシング化学機械研磨 2022年 8月18日
特許 7100698 乾燥中の高アスペクト比構造の崩壊を防止するための組成物および方法 2022年 7月13日
特許 7092709 ケイ素含有膜の高温原子層堆積 2022年 6月28日
特許 7085561 ケイ素含有表面への選択的堆積 2022年 6月16日
特許 7079322 ストリッパー溶液及びストリッパー溶液の使用方法 2022年 6月 1日

34 件中 1-15 件を表示

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7193478 7182680 7177209 7153100 7152576 7141426 7139475 7130608 7126973 7125515 7121696 7100698 7092709 7085561 7079322

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