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バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー

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バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7193478	高成長速度ケイ素含有膜の前駆体としての官能化シクロシラザン	2022年12月20日
特許 7182680	ケイ素及び窒素を含有する膜を製造する方法	2022年12月 2日
特許 7177209	有機アミノジシラン前駆体、及びそれを含む膜の堆積方法	2022年11月22日
特許 7153100	炭素ドープケイ素含有膜のための組成物およびそれを用いた方法	2022年10月13日
特許 7152576	ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを使用した方法	2022年10月12日
特許 7141426	ケイ素含有膜の堆積のための有機アミノ官能化直鎖状及び環状オリゴシロキサン	2022年 9月22日
特許 7139475	ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを用いた方法	2022年 9月20日
特許 7130608	化学機械平坦化組成物用の複合研磨粒子及びその使用方法	2022年 9月 5日
特許 7126973	タングステン含有金属およびＴｉＮ含有材料の両方に好適なエッチング溶液	2022年 8月29日
特許 7125515	組成物、及びケイ素含有膜の堆積のための組成物を使用する方法	2022年 8月24日
特許 7121696	低酸化物トレンチディッシング化学機械研磨	2022年 8月18日
特許 7100698	乾燥中の高アスペクト比構造の崩壊を防止するための組成物および方法	2022年 7月13日
特許 7092709	ケイ素含有膜の高温原子層堆積	2022年 6月28日
特許 7085561	ケイ素含有表面への選択的堆積	2022年 6月16日
特許 7079322	ストリッパー溶液及びストリッパー溶液の使用方法	2022年 6月 1日

34 件中 1-15 件を表示

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7193478 7182680 7177209 7153100 7152576 7141426 7139475 7130608 7126973 7125515 7121696 7100698 7092709 7085561 7079322

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