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アイクストロン、エスイー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第3535位 5件 下降2014年:第2742位 7件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第5375位 2件 下降2014年:第3032位 6件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-204461 CVDリアクタにおける排ガス洗浄装置および方法 2015年11月16日
特開 2015-106713 誘電性複合体構造の作製方法及び装置 2015年 6月 8日
特開 2015-101790 炭素からなるナノ構造の製造装置および方法 2015年 6月 4日
特表 2015-514161 原子層堆積法の使用によるTiSiN薄層の形成方法 2015年 5月18日
特開 2015-76616 プロセスチャンバ内におけるサセプタの回転位置の決定装置および方法 2015年 4月20日

5 件中 1-5 件を表示

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2015-204461 2015-106713 2015-101790 2015-514161 2015-76616

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