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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5437970 | アダプタ移載装置及びそれを用いた検体検査自動化システム | 2014年 3月12日 | |
特許 5441800 | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法、並びに光学式変位計を用いた微小角度検出方法 | 2014年 3月12日 | |
特許 5441770 | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のギャップ制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | 2014年 3月12日 | |
特許 5439064 | 複合磁気ヘッドの劣化検出方法および磁気ディスク検査装置 | 2014年 3月12日 | |
特許 5442417 | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 | 2014年 3月12日 | |
特許 5439575 | 試料の観察方法 | 2014年 3月12日 | |
特許 5439498 | 電子顕微鏡 | 2014年 3月12日 | |
特許 5439405 | 走査電子顕微鏡 | 2014年 3月12日 | |
特許 5438937 | 荷電粒子ビーム装置 | 2014年 3月12日 | |
特許 5437449 | 荷電粒子ビーム用軌道補正器、及び荷電粒子ビーム装置 | 2014年 3月12日 | |
特許 5442208 | うつ病の検査方法 | 2014年 3月12日 | 共同出願 |
特許 5433656 | 分注装置 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5433522 | 電子顕微鏡を用いたパターン寸法計測方法、パターン寸法計測システム並びに電子顕微鏡装置の経時変化のモニタ方法 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5433517 | 解析装置及び解析方法 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5433308 | 計測装置、及び計測方法 | 2014年 3月 5日 |
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5437970 5441800 5441770 5439064 5442417 5439575 5439498 5439405 5438937 5437449 5442208 5433656 5433522 5433517 5433308
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