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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2014年 出願公開件数ランキング    第59位 659件 変わらず2013年:第59位 716件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第54位 625件 下降2013年:第51位 717件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5417306 欠陥検査方法および欠陥検査装置 2014年 2月12日
特許 5417205 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 2014年 2月12日
特許 5416868 基板検査方法及び基板検査装置 2014年 2月12日
特許 5416600 欠陥検査装置およびその方法 2014年 2月12日
特許 5415523 パターン検査装置及びその検査方法 2014年 2月12日
特許 5414707 分析装置 2014年 2月12日
特許 5414602 検査装置 2014年 2月12日
特許 5414215 回路パターン検査装置、および回路パターンの検査方法 2014年 2月12日
特許 5412207 生体分子固定基板及びその製造方法 2014年 2月12日
特許 5416867 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2014年 2月12日
特許 5417428 電子顕微鏡および試料保持方法 2014年 2月12日
特許 5417380 リニアモータ,可動ステージおよび電子顕微鏡 2014年 2月12日
特許 5416748 プラズマ処理装置 2014年 2月12日
特許 5416319 荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム 2014年 2月12日
特許 5415583 真空処理装置 2014年 2月12日

625 件中 511-525 件を表示

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5417306 5417205 5416868 5416600 5415523 5414707 5414602 5414215 5412207 5416867 5417428 5417380 5416748 5416319 5415583

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