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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2013年 出願公開件数ランキング    第59位 716件 下降2012年:第54位 709件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第51位 717件 上昇2012年:第71位 547件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5355261 プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の露光光形成方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2013年11月27日
特許 5351531 走査型電子顕微鏡及び走査型電子顕微鏡のドリフト補正方法 2013年11月27日
特許 5355922 欠陥検査装置 2013年11月27日
特許 5352111 欠陥検査方法及びこれを用いた欠陥検査装置 2013年11月27日
特許 5345970 液体クロマトグラフ装置 2013年11月20日
特許 5344733 高周波電力発生装置 2013年11月20日
特許 5349093 プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2013年11月20日
特許 5345194 液体クロマトグラフ 2013年11月20日
特許 5349163 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2013年11月20日
特許 5349978 荷電粒子線を用いた寸法計測方法、および寸法計測装置 2013年11月20日
特許 5349742 表面検査方法及び表面検査装置 2013年11月20日
特許 5346256 プラズマ処理装置 2013年11月20日
特許 5346254 半導体製造装置の制御装置及び制御方法 2013年11月20日
特許 5349805 半導体デバイス製造装置の製造方法及び半導体デバイス製造装置の洗浄方法 2013年11月20日
特許 5345032 電子部品実装装置 2013年11月20日

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5355261 5351531 5355922 5352111 5345970 5344733 5349093 5345194 5349163 5349978 5349742 5346256 5346254 5349805 5345032

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