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株式会社荏原製作所

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  2011年 出願公開件数ランキング    第387位 99件 下降2010年:第321位 140件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第295位 117件 下降2010年:第216位 145件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-226368 排気ユニット、及びドライ真空ポンプ装置 2011年11月10日
特開 2011-226366 ドライ真空ポンプ装置 2011年11月10日
特開 2011-226364 ドライ真空ポンプ装置の冷却構造、及び冷却方法 2011年11月10日
特開 2011-226367 ドライ真空ポンプ装置 2011年11月10日
特開 2011-226365 ドライ真空ポンプ装置 2011年11月10日
特開 2011-223675 回転電機 2011年11月 4日 共同出願
特開 2011-222352 試料観察方法及び装置、並びにそれらを用いた試料検査方法及び装置 2011年11月 4日
特開 2011-205070 研磨監視方法、研磨方法、研磨監視装置、および研磨装置 2011年10月13日
特開 2011-202516 真空ポンプの運転制御装置及び運転制御方法 2011年10月13日
特開 2011-201015 ポリッシング装置及び方法 2011年10月13日
特開 2011-196113 真空弁の制御装置 2011年10月 6日 共同出願
特開 2011-196112 真空弁ユニット 2011年10月 6日 共同出願
特開 2011-192967 基板乾燥方法、制御プログラム及び基板乾燥装置 2011年 9月29日
特開 2011-192654 試料表面検査方法及び検査装置 2011年 9月29日
特開 2011-193662 キャンド構造の回転電機 2011年 9月29日

99 件中 16-30 件を表示

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2011-226368 2011-226366 2011-226364 2011-226367 2011-226365 2011-223675 2011-222352 2011-205070 2011-202516 2011-201015 2011-196113 2011-196112 2011-192967 2011-192654 2011-193662

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