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株式会社荏原製作所

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  2011年 出願公開件数ランキング    第387位 99件 下降2010年:第321位 140件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第295位 117件 下降2010年:第216位 145件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-163263 水中モータポンプ 2011年 8月25日
特開 2011-163494 タンデムメカニカルシール 2011年 8月25日
特開 2011-161625 研磨装置、研磨方法、研磨具を押圧する押圧部材 2011年 8月25日
特開 2011-148046 研磨装置及び方法、並びに、ドレッシングユニットの性能試験方法 2011年 8月 4日
再表 2009-125603 試料観察方法及び装置、並びにそれらを用いた検査方法及び装置 2011年 8月 4日
特開 2011-149097 金属膜形成方法および装置 2011年 8月 4日
特開 2011-146448 スケジューラ、基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法 2011年 7月28日
特開 2011-143537 研磨装置 2011年 7月28日
特開 2011-140931 ポンプ用羽根車及びそれを備えた水中ポンプ、及びポンプ用羽根車のバランス調整方法 2011年 7月21日
特開 2011-142090 電子線による検査装置、検査方法、及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 2011年 7月21日 共同出願
特開 2011-137305 増圧給水システム 2011年 7月14日
特開 2011-137422 ポンプ用羽根車及びそれを備えた水中ポンプ 2011年 7月14日
特開 2011-137606 気液接触用充填材、及び冷却塔 2011年 7月14日
特開 2011-136406 基板研磨装置、基板研磨方法、及び基板研磨装置の研磨パッド面温調装置 2011年 7月14日
特開 2011-127460 給水装置 2011年 6月30日

99 件中 46-60 件を表示

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2011-163263 2011-163494 2011-161625 2011-148046 2009-125603 2011-149097 2011-146448 2011-143537 2011-140931 2011-142090 2011-137305 2011-137422 2011-137606 2011-136406 2011-127460

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