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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第358位 118件
(2012年:第427位 92件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第276位 144件
(2012年:第286位 128件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-175781 | ウェハを吸着保持する静電チャック | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-174125 | 給水装置 | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-173146 | 海水淡水化システムおよびエネルギー交換チャンバー | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-172019 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 9月 2日 | 共同出願 |
特開 2013-167207 | ターボ分子ポンプ | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168679 | 導電材料構造体の形成方法 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-166146 | 排ガス洗浄方法 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-163262 | 研磨パッドのドレッシング装置、及び基板研磨装置 | 2013年 8月22日 | |
特開 2013-162044 | 基板洗浄装置及び洗浄方法 | 2013年 8月19日 | |
特開 2013-155627 | 軸受の摩耗検出機構および該摩耗検出機構を備えた立軸ポンプ | 2013年 8月15日 | |
特開 2013-155744 | ポンプ施設 | 2013年 8月15日 | |
特開 2013-157541 | 基板保持装置、研磨装置、および研磨方法 | 2013年 8月15日 | |
特開 2013-155405 | 基板ホルダ及びめっき装置 | 2013年 8月15日 | |
特開 2013-147932 | 増圧給水システム | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-145748 | 電子線装置及びこれを用いた試料観察方法 | 2013年 7月25日 |
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2013-175781 2013-174125 2013-173146 2013-172019 2013-167207 2013-168679 2013-166146 2013-163262 2013-162044 2013-155627 2013-155744 2013-157541 2013-155405 2013-147932 2013-145748
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