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株式会社荏原製作所

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  2013年 出願公開件数ランキング    第358位 118件 上昇2012年:第427位 92件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第286位 128件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-141735 選択 研磨装置 2013年 7月22日
特開 2013-142322 選択 管内クーラー 2013年 7月22日
特開 2013-142293 選択 真空排気システム 2013年 7月22日
特開 2013-142496 選択 管内クーラー 2013年 7月22日
特開 2013-142495 選択 管内クーラー 2013年 7月22日
特開 2013-139012 選択 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 2013年 7月18日
特開 2013-136011 選択 エネルギー回収チャンバー 2013年 7月11日
特開 2013-138089 選択 液飛散防止カップ、該カップを備えた基板処理装置並びに基板研磨装置 2013年 7月11日
特開 2013-131783 選択 基板洗浄装置 2013年 7月 4日
特開 2013-127256 選択 給水装置 2013年 6月27日
特開 2013-122091 選択 めっき装置 2013年 6月20日
特開 2013-122282 選択 真空容器の自動開閉機構 2013年 6月20日
特開 2013-117399 選択 電気式脱塩装置の運転方法 2013年 6月13日
特開 2013-113185 選択 ポンプシステムおよび該ポンプシステムの運転方法 2013年 6月10日
特開 2013-111679 選択 弾性膜及び基板保持装置 2013年 6月10日

118 件中 61-75 件を表示

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2013-141735 2013-142322 2013-142293 2013-142496 2013-142495 2013-139012 2013-136011 2013-138089 2013-131783 2013-127256 2013-122091 2013-122282 2013-117399 2013-113185 2013-111679

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