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株式会社荏原製作所

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  2011年 出願公開件数ランキング    第387位 99件 下降2010年:第321位 140件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第295位 117件 下降2010年:第216位 145件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-17346 ポンプ装置 2011年 1月27日
特開 2011-9599 基板処理方法及び基板処理装置 2011年 1月13日
特開 2011-9679 研磨終点検知方法、研磨終点検知装置、研磨方法、および研磨装置 2011年 1月13日
特開 2011-9601 基板乾燥方法及び基板乾燥装置 2011年 1月13日
特開 2011-9600 基板処理方法及び基板処理装置 2011年 1月13日
特開 2011-9602 基板処理方法及び基板処理装置 2011年 1月13日
特開 2011-3483 燃料電池システムの運転方法及び燃料電池システム 2011年 1月 6日
特開 2011-3843 有機ガス供給装置の有機ガス濃度検出方法、有機ガス供給装置、及び有機ガス供給装置の運転方法 2011年 1月 6日
特開 2011-647 研磨監視方法 2011年 1月 6日

99 件中 91-99 件を表示

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2011-17346 2011-9599 2011-9679 2011-9601 2011-9600 2011-9602 2011-3483 2011-3843 2011-647

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