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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第223位 204件
(2013年:第358位 118件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第333位 116件
(2013年:第276位 144件)
(ランキング更新日:2025年6月3日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5617012 | 基板処理装置及び該基板処理装置の運転方法 | 2014年10月29日 | |
特許 5615686 | 超臨界サイクルヒートポンプ装置 | 2014年10月29日 | |
特許 5615489 | 基板表面の検査方法及び検査装置 | 2014年10月29日 | 共同出願 |
特許 5614973 | 軸受冷却装置及びポンプ | 2014年10月29日 | |
特許 5612945 | 基板の研磨の進捗を監視する方法および研磨装置 | 2014年10月22日 | |
特許 5612450 | ポンプ装置および電力変換装置 | 2014年10月22日 | |
特許 5602816 | ポンプ設備 | 2014年10月 8日 | |
特許 5602615 | 樹脂モールドロータ、キャンドモータ、及びキャンドモータポンプ | 2014年10月 8日 | |
特許 5597033 | 研磨装置および方法 | 2014年10月 1日 | |
特許 5595782 | ドライ真空ポンプ装置 | 2014年 9月24日 | |
特許 5596104 | ポンプ設備 | 2014年 9月24日 | |
特許 5595968 | ゲートによる流量制御方法及び流量制御装置 | 2014年 9月24日 | 共同出願 |
特許 5595835 | 電動機の駆動装置 | 2014年 9月24日 | |
特許 5583946 | 研磨終点検知方法および研磨終点検知装置 | 2014年 9月 3日 | 共同出願 |
特許 5572229 | めっき装置 | 2014年 8月13日 |
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5617012 5615686 5615489 5614973 5612945 5612450 5602816 5602615 5597033 5595782 5596104 5595968 5595835 5583946 5572229
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