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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5617012 基板処理装置及び該基板処理装置の運転方法 2014年10月29日
特許 5615686 超臨界サイクルヒートポンプ装置 2014年10月29日
特許 5615489 基板表面の検査方法及び検査装置 2014年10月29日 共同出願
特許 5614973 軸受冷却装置及びポンプ 2014年10月29日
特許 5612945 基板の研磨の進捗を監視する方法および研磨装置 2014年10月22日
特許 5612450 ポンプ装置および電力変換装置 2014年10月22日
特許 5602816 ポンプ設備 2014年10月 8日
特許 5602615 樹脂モールドロータ、キャンドモータ、及びキャンドモータポンプ 2014年10月 8日
特許 5597033 研磨装置および方法 2014年10月 1日
特許 5595782 ドライ真空ポンプ装置 2014年 9月24日
特許 5596104 ポンプ設備 2014年 9月24日
特許 5595968 ゲートによる流量制御方法及び流量制御装置 2014年 9月24日 共同出願
特許 5595835 電動機の駆動装置 2014年 9月24日
特許 5583946 研磨終点検知方法および研磨終点検知装置 2014年 9月 3日 共同出願
特許 5572229 めっき装置 2014年 8月13日

116 件中 16-30 件を表示

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5617012 5615686 5615489 5614973 5612945 5612450 5602816 5602615 5597033 5595782 5596104 5595968 5595835 5583946 5572229

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