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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第358位 118件 (2012年:第427位 92件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第276位 144件 (2012年:第286位 128件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5306284 | ポンプ装置 | 2013年10月 2日 | |
特許 5305729 | 研磨方法及び研磨装置、並びに研磨装置制御用プログラム | 2013年10月 2日 | |
特許 5306065 | ドレッシング装置およびドレッシング方法 | 2013年10月 2日 | |
特許 5306864 | ルーズ短管式管継手およびポンプ機構 | 2013年10月 2日 | |
特許 5307181 | 試料表面検査方法及び検査装置 | 2013年10月 2日 | |
特許 5302934 | 試料表面検査方法および検査装置 | 2013年10月 2日 | |
特許 5305870 | 真空ポンプ | 2013年10月 2日 | |
特許 5302423 | シートビーム式検査装置 | 2013年10月 2日 | |
特許 5303249 | ドライ真空ポンプユニット | 2013年10月 2日 | |
特許 5301840 | 研磨装置 | 2013年 9月25日 | |
特許 5301931 | 研磨方法および研磨装置 | 2013年 9月25日 | |
特許 5297208 | フッ素含有化合物処理剤及び排ガスの処理方法 | 2013年 9月25日 | |
特許 5290009 | ドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法 | 2013年 9月18日 | |
特許 5291151 | ポリッシング装置及び方法 | 2013年 9月18日 | |
特許 5291075 | 給水装置の始動方法および給水装置 | 2013年 9月18日 |
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5306284 5305729 5306065 5306864 5307181 5302934 5305870 5302423 5303249 5301840 5301931 5297208 5290009 5291151 5291075
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12月1日(日) -
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