株式会社荏原製作所
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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第223位 204件
（
2013年：第358位 118件）
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第333位 116件
（
2013年：第276位 144件）
（ランキング更新日：2025年6月3日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5571409 | 半導体装置の製造方法 | 2014年 8月13日 | 共同出願 |
| 特許 5572229 | めっき装置 | 2014年 8月13日 | |
| 特許 5568113 | 回転機械装置 | 2014年 8月 6日 | |
| 特許 5562144 | 真空ポンプ、その運転制御装置及び運転制御方法 | 2014年 7月30日 | |
| 特許 5562058 | ターボ分子ポンプ | 2014年 7月30日 | |
| 特許 5564171 | めっき装置及びめっき方法 | 2014年 7月30日 | |
| 特許 5562370 | 化学的機械研磨（ＣＭＰ）ヘッド、装置及び方法 | 2014年 7月30日 | |
| 特許 5555518 | 真空ポンプの運転制御装置及び運転制御方法 | 2014年 7月23日 | |
| 特許 5555510 | キャンドモータ及びキャンドモータポンプ | 2014年 7月23日 | |
| 特許 5547472 | 基板研磨装置、基板研磨方法、及び基板研磨装置の研磨パッド面温調装置 | 2014年 7月16日 | |
| 特許 5552401 | 研磨装置および方法 | 2014年 7月16日 | |
| 特許 5543941 | 吸収ヒートポンプ | 2014年 7月 9日 | |
| 特許 5535687 | 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 | 2014年 7月 2日 | |
| 特許 5529188 | アノードホルダ及びめっき装置 | 2014年 6月25日 | |
| 特許 5528826 | 研磨装置及び方法、並びに、ドレッシングユニットの性能試験方法 | 2014年 6月25日 |
116 件中 31-45 件を表示
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5571409 5572229 5568113 5562144 5562058 5564171 5562370 5555518 5555510 5547472 5552401 5543941 5535687 5529188 5528826
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